07-04
2022白光干涉測量系統(tǒng)的應用有哪些？
目前3D領域中，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一，白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面?！ ∷哂袦y量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量?！ 〕藴y量精度...
