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2023光譜共焦位移傳感器的測(cè)量原理是什么?又有哪些測(cè)量步驟呢?
光譜共焦位移傳感器是一種測(cè)量位移變化的高精度測(cè)量設(shè)備,其工作原理基于共焦光學(xué)技術(shù)和光譜分析技術(shù)的結(jié)合。在傳統(tǒng)的共焦系統(tǒng)中,一個(gè)點(diǎn)光源(通常為激光)通過(guò)一個(gè)聚焦透鏡照射到樣品上,同一個(gè)透鏡也用來(lái)收集反射或透射光。由于共焦孔徑的存在,只有來(lái)自聚焦平面的光可以通過(guò)孔徑被檢測(cè)器接收。隨著樣品的位移,聚焦平面也隨著移動(dòng),導(dǎo)致聚焦平面之外的光線強(qiáng)度急劇下降。這樣,光強(qiáng)和樣品表面的距離之間建立了一個(gè)非常敏感的依...