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2023-07-11

行業(yè)應(yīng)用|光譜共焦位移傳感器對(duì)石墨厚度的測量

項(xiàng)目一:測量薄膜下石墨的厚度



檢測方案:


將產(chǎn)品平置,上下各一個(gè)探頭,進(jìn)行對(duì)射測厚,通過傳感器軟件獲取產(chǎn)品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的傳感器。

2、總厚度依次選取圈內(nèi)位置測量,薄膜測量則選取石墨附近位置的薄膜厚度。


測試結(jié)果:



1、位置1重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.135微米,位置2重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.053微米,位置3重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.073微米,位置4重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.175微米。


2、產(chǎn)品4個(gè)位置總厚度的平均值-薄膜厚度的平均值=4個(gè)位置石墨平均厚度


產(chǎn)品清單:



項(xiàng)目二:測量石墨的厚度





檢測方案:


將產(chǎn)品平置,上下各一個(gè)探頭,進(jìn)行對(duì)射測厚,通過傳感器軟件獲取產(chǎn)品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的傳感器。

2、石墨上隨機(jī)取4個(gè)位置測試。


測試結(jié)果:



位置1重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.31微米,位置2重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.168微米,位置3重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.052微米,位置4重復(fù)25次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.064微米。


產(chǎn)品清單: